Sensortechnologien

Linearität und Wiederholgenauigkeit  hochdynamischer und hochauflösender Positioniersysteme sind nicht denkbar ohne den Einsatz höchstauflösender Messverfahren. Genauigkeiten im Bereich weniger Nanometer und darunter erfordern Positionsmessverfahren, die Bewegung in diesem Bereich auch erfassen können.