Fähigkeiten und Kapazitäten
PI verfügt an vielen Produktionsstandorten über die Möglichkeit, Produkte unter Reinraumbedingungen zu fertigen und zu qualifizieren. Diese Fähigkeit wird entsprechend den Marktbedürfnissen ständig erweitert und verbessert.
Angepasst an die Prozesse an den jeweiligen Standorten verfügt PI selbst oder bei Partnern über die Fähigkeit, Teile und Produkte entsprechend den Vorschriften für die jeweiligen Reinraum-Klassen zu reinigen und das Ergebnis dieser Reinigung hinsichtlich partikulärer Verunreinigung und teilweise hinsichtlich anderweitiger Verschmutzung zu prüfen.
PI ist mittels kalibrierter Partikel-Messgeräte in der Lage, die Qualität der Reinräume entsprechend den Vorgaben der ISO 14644-1 zu überwachen.
PI verfügt ebenfalls über die Fähigkeit, die Partikel-Erzeugung der eigenen Produkte unter Betriebsbedingungen zu messen.
Standards
Seit 2001 wird die Klassifizierung von Reinräumen nicht mehr gemäß US FED STD 209E vorgenommen, sondern nach ISO 14644-1. Die nachstehenden Tabellen zeigen einige Reinraumklassen in beiden Standards im Vergleich.
Reinraumklassen nach ISO14644-1
Partikel je m³
| Klasse | 0,1 µm | 0,2 µm | 0,3 µm | 0,5 µm | 1,0 µm | 5,0 µm |
|---|
| ISO 5 | 100.000 | 23.700 | 10.200 | 3.520 | 832 | |
| ISO 6 | 1.000.000 | 237.000 | 102.000 | 35.200 | 8.320 | 293 |
| ISO 7 | 352.000 | 83.200 | 2.930 | |||
| ISO 8 | 3.520.000 | 832.000 |
Reinraumklassen nach US FED STD 209E
Partikel je m3
| Klasse | 0,2 µm | 0,3 µm | 0,5 µm | 5,0 µm |
|---|
| 100 | 26.486 | 10.594 | 3.531 | |
| 1.000 | 35.315 | 247 | ||
| 10.000 | 353.147 | 2.472 | ||
| 100.000 | 3.531.470 | 24.720 |
Verfügbare Reinräume / Reinstarbeitsplätze
PI verfügt neben Reinräumen auch über zusätzliche Reinstarbeitsplätze, die innerhalb oder außerhalb von Reinräumen installiert werden, um für bestimmte Prozess-Schritte eine weitere Reduzierung der partikulären Verunreinigung im Vergleich zur jeweiligen Umgebung zu erreichen.
Die nachstehende Übersicht listet die je Standort verfügbaren oder geplanten Einrichtungen auf.
PI in Karlsruhe ist der größte Fertigungs- und Entwicklungsstandort von PI. Hier werden Standard- und Sonderprodukte montiert und qualifiziert, hauptsächlich im Bereich der piezobasierten Positioniersysteme, der Hexapoden und magnetischer Antriebe. Alle Serien-Produktionsbereiche inklusive der Wareneingangsprüfung sind als Reinräume der Klasse ISO 8 ausgeführt.
Zusätzlich verfügt PI Karlsruhe über einen neu eingerichteten Reinraum der Klasse ISO 5, der auch alle Standards für EUV-Anwendungen berücksichtigt. Der Bereich Sonderbau verfügt zusätzlich über Räumlichkeiten der Klassen ISO 7 sowie über Reinstarbeitsplätze der Klasse ISO 5. In der Entwicklung ist ein Labor der Klasse ISO 7 verfügbar.
Die gesamte Prozesskette der Multilayer-Herstellung ab dem Foliengießen wird bei PI Ceramic in Reinräumen der Klasse 6, 7 und 8 realisiert, auch die Montageprozesse der Piezo-Aktoren und -Sensoren im Produktbereich Bauelemente finden durchgängig in Reinräumen der Klassen 7 oder 8 statt. Für weitere ausgewählte Prozesse wie Sputtern, Siebdrucken oder Dispensen stehen je nach Prozessanforderung Reinräume der Klassen ISO 7 bis ISO 9 zur Verfügung.
PI USA verfügt im Produktionsbereich über eine Montageinsel der Reinraumklasse ISO 8 incl. Messmöglichkeiten, Reinigung und Verpackung unter Reinraumbedingungen.
