Piezo-Lineartische

Piezo-Lineartische

Nanopositioniertische und Scanner von PI vereinen nanometergenaue Auflösung und Führungspräzision mit minimalem Übersprechen. Daher sind sie besonders geeignet für Referenzanwendungen in der Messtechnik, für mikroskopische Verfahren, für die Interferometrie oder in Inspektionssystemen für die Halbleiterchip-Herstellung.

Piezoaktorische Linearpositionierer mit PICMA® Piezoantrieb und Festkörperführungen sind für Stellwege bis zu 1,5 mm verfügbar. 

Piezolineartische mit Festkörperführung

P-621.1U • P-625.1U PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Vakuumkompatibel und variabel in Stellweg und Achskonfiguration

P-620.Z - P-622.Z PIHera Vertikaler Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch

Dynamisch und positionsstabil

P-752 Hochpräziser Nanopositioniertisch

Hochdynamischer und stabiler Piezoscanner mit extremer Führungsgenauigkeit

P-750 Piezo-Nanopositionierer

Hochlast-Nanopositionierer mit Piezoantrieb und direkter Positionsmessung

P-733.Z Hochdynamischer Z-Nanopositioniertisch

Direkte Positionsmessung und Apertur

P-612.Z Piezohubtisch

Kompakter Nanopositionierer mit Apertur

P-611.1 Linearer Piezopositionierer

Kompakter und preisgünstiger Lineartisch

P-620.1 – P-629.1 PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

Piezohubtische mit Festkörperführung

P-620.Z - P-622.Z PIHera Vertikaler Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

P-733.Z Hochdynamischer Z-Nanopositioniertisch

Direkte Positionsmessung und Apertur

P-612.Z Piezohubtisch

Kompakter Nanopositionierer mit Apertur

P-611.Z Piezohubtisch

Kompakter Nanopositionierer