Produktserien mit Vakuum-geeigneten Artikeln

Produktserien mit Vakuum-geeigneten Artikeln

PI bietet bei ausgewählten Produktserien spezifische Katalogartikel, die bereits für Hochvakuum (HV) bzw. Ultrahochvakuum (UHV) geeignet sind.

Darüber hinaus können die meisten PI Achsen und auch Mehrachslösungen auf Anfrage für den Einsatz im Vakuum modifiziert werden. Weitere Informationen über PIs Design-for-Vacuum finden Sie auf der >> Vakuum Technologieseite.

Hexapoden

H-850.V Vakuumgeeigneter 6-Achsen-Hexapod

Für Lasten bis 80 kg
  • Vaccum Version
  • Stellweg ±50/±50/±25mm
  • Drehbewegung ±15/±15/±30°

H-811.I2V Vakuumgeeigneter 6-Achsen-Miniatur-Hexapod

Schnell, kompakt und höchst präzise
  • Vakuumausführung
  • Stellweg ±17/±16/±6,5mm
  • Drehbewegung ±10/±10/±21°
  • MiM 0.2/0.2/0.08µm
  • Belastbarkeit 5kg

H-824.V Vakuumgeeigneter 6-Achsen-Hexapod

Kompakt und präzise
  • Vakuum Version
  • Stellweg ±22.5/±22.5/±12.5mm
  • Drehbewegung ±7.5/±7.5/±12.5°
  • Belastbarkeit 5kg

Lineartische, Rotationstische, Hubtische und Zubehör

NEU

P-891.VA • P-892.VA Vakuumdurchführung

Zubehör für vakuumgeeignete Piezopositionierer

L-220 V6 Vakuumgeeigneter hochauflösender Linearaktor

Für hohe Zyklenzahlen geeignet
VFxx Vacuum Feedthroughs

C-815.VFxx Vakuumdurchführungen

Schnittstelle zwischen Luftseite und Hochvakuum (HV) bzw. Ultrahochvakuum (UHV)

RS-40 V7 Vakuumgeeigneter kompakter Rotationstisch

Präzise Positionierung

M-110 • M-111 • M-112 V6 Vakuumgeeigneter kompakter Lineartisch

XY(Z)-Kombinationen mit DC-Getriebemotor, verschiedene Stellwegvarianten

L-509 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Lineartisch

Kompakte Bauform, für Lasten bis 10 kg

L-611 V6 • V7 • V9 Vakuumgeeigneter Präzisions-Rotationstisch

Hohe Ablaufgenauigkeit

VT-80 V6 Vakuumgeeigneter Lineartisch

Basisversion für universelle Einsatzgebiete

L-310 V6 Vakuumgeeigneter Präzisionshubtisch

Kompakt kombinierbar mit Linear- und Drehtischen
Adapter Bracket
NEU

AB-65 Adapterwinkel

Für die vertikale Montage von Linear- und Rotationstischen
PI L-500

L-500 Adapterwinkel

Für die vertikale Montage von Linear- und Rotationstischen

Piezoaktoren und -tische

P-621.1U • P-625.1U PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Vakuumkompatibel und variabel in Stellweg und Achskonfiguration

P-841 Vorgespannte Piezoaktoren

Kompakte Aktoren für hohe Lasten und Kräfte, mit Positionssensor

P-733.3 XYZ-Piezo-Nanopositionierer

Hochpräziser XYZ-Scanner mit Apertur

P-733.2 XY-Piezo-Nanopositionierer

Hochpräziser XY-Scanner mit Apertur

P-216 PICA Power Piezoaktoren

Vorgespannte Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption
  • Stellwege bis 180µm
  • Schubkraft bis 4500N
  • Zugkraft bis 500N
  • Subnanometer-Auflösung
  • Für Vakuum/Hochtemperatur

P-845 Vorgespannte Piezoaktoren

Für sehr hohe Lasten und Kräfte, mit Positionssensor

P-844 Vorgespannte Piezoaktoren

Für sehr hohe Lasten und Kräfte

P-840 Vorgespannte Piezoaktoren

Kompakte Aktoren für hohe Lasten und Kräfte

P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch

Dynamisch und positionsstabil

P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch

Hochpräziser Nanopositionierer für bis zu 3 Achsen

P-518 • P-528 Piezo-Hub- und Kipptisch

Hochdynamisch, mit großer Apertur

P-235 PICA Power Piezoaktoren

Vorgespannte Hochlast-Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption
  • Sehr hohe Kraft
  • Stellweg 180µm
  • Extrem hohe Steifigkeit
  • Schubkraft bis 30000N
  • Zugkraft bis 3500N

N-480 Hochpräziser kinematischer Spiegelhalter

Mit N-470 PiezoMike Linearaktoren

N-470.V PiezoMike Linearaktor

Minimale Abmessungen, hohe Kräfte, stabile Positionierung, Vakuum bis 10-6 hPa

Sensoren

D-050 • D-100 Kapazitive Sensoren

Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich
  • Höchste Präzision
  • Auflösung bis 0,01nm
  • Linearitätsfehler bis 0,01%
  • Messbereich bis 300µm