M-971 Motorized OEM XY Stage

Günstiger Preis bei hohen Stückzahlen

Kreuztisch für preissensible Anwendungen
Präzise Schrittmotoren
Kreuzrollenführungen
Hall-Effekt-End- und Referenzschalter

M-971.01

Der M-971 wird in Systeme für Inspektion, Lithographie oder Biotechnologie integriert und ist auf die optische Mikroskopie optimiert. Er wurde speziell auf die Anforderungen preissensibler OEM-Märkte hin entwickelt. Die Basis dafür bilden bewährte und kostenoptimierte Komponenten:

Die Führungsbauweise mit mehreren kurzen Kreuzrollenführungen verteilt die Last gleichmäßig auf eine große Oberfläche und sorgt für hohe Steifigkeit und gute Ablaufgenauigkeit.
Der Antriebsstrang basiert auf einem weit verbreiteten Lineartisch von PI. Seine Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer zeigen sich seit Jahren im Einsatz.
Durch den Einsatz von Schrittmotoren kann auf Encoder verzichtet und ein einfacher Schrittmotorcontroller verwendet werden. Der Kreuztisch verfügt über Endschalter und Referenzschalter, um schnelle und präzise Referenzierung und Sicherheit im Betrieb zu gewährleisten.

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Datenblatt

Version / Datum

2021-01-14

pdf - 207 KB

Version / Datum

2021-01-14

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Version / Datum

2021-01-18

pdf - 275 KB

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Bewegen und Positionieren	Einheit	Toleranz	M-971.01
Aktive Achsen			X, Y
Stellweg in X	mm		50
Stellweg in Y	mm		25
Systemauflösung in X	nm		2,5
Systemauflösung in Y	nm		2,5
Kleinste Schrittweite in X	µm	typ.	0,2
Kleinste Schrittweite in Y	µm	typ.	0,2
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X	µm	typ.	1
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y	µm	typ.	1
Umkehrspiel in X	µm	typ.	6
Umkehrspiel in Y	µm	typ.	6
Geschwindigkeit in X	mm/s	max.	10
Geschwindigkeit in Y	mm/s	max.	10
Referenzschalter			Hall-Effekt
Wiederholgenauigkeit des Referenzschalters	µm	typ.	1
Endschalter			Hall-Effekt
Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X	µrad	typ.	±50
Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X	µrad	typ.	±50
Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y	µrad	typ.	±50
Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y	µrad	typ.	±50

Mechanische Eigenschaften	Einheit	Toleranz	M-971.01
Spindeltyp			Gewindespindel
Spindelsteigung	mm		1
Führungstyp			Kreuzrollenführung
Antriebskraft in X	N		50
Antriebskraft in Y	N		50
Haltekraft in X, passiv	N		200
Haltekraft in Y, passiv	N		200
Belastbarkeit	N		200
Gesamtmasse	g	±5 %	8460