N-331 PICMAWalk Schreitantrieb

OEM-Schreitantrieb für dauerhafte Anwendungen mit bis zu 12 mm/s Geschwindigkeit und 50 N Antriebskraft

Robuster und industriell nutzbarer Schreitantrieb mit PICMA® Technologie für extreme Langlebigkeit
Schnellster und stärkster Antrieb in seiner Größenklasse
Variable Läuferlänge von 25 mm bis 100 mm
Präzises, nanometergenaues Positionieren von Lasten bis zu 5 kg
Plug and Play dank PI-eigener Controller-Technologie
Versionen für Vakuum bis 10^-9 hPa verfügbar

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10-nm-Schritte führt der N-331-Antrieb zuverlässig und wiederholbar aus. Gemessen wurde mit einem Interferometer.

N-331.xx, Abmessungen in mm

Einsatzgebiete

Industrielle Präzisionspositionierung
Halbleitertechnik
Halbleitertests
Wafer-Inspektion
Lithografie
Nanoimprint
Nanometrologie

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11

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Version / Datum

2023-12-11

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Version / Datum

2018-10-16

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Wählen Sie einen Stellweg:

Bewegen	N-331.10	N-331.13	N-331.20	N-331.23	N-331.40	N-331.43	Toleranz
Aktive Achsen	X	X	X	X	X	X
Stellweg in X	—	25 mm	—	50 mm	—	100 mm
Stellweg in X, ungeregelt	30 mm	30 mm	55 mm	55 mm	105 mm	105 mm	±0,5 mm
Stellweg in X (Analogbetrieb)	20 µm	20 µm	20 µm	20 µm	20 µm	20 µm	typ.
Betriebsfrequenz im Vollschrittbetrieb	0,6 kHz	0,6 kHz	0,6 kHz	0,6 kHz	0,6 kHz	0,6 kHz
Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Vollschrittbetrieb)	12 mm/s	12 mm/s	12 mm/s	12 mm/s	12 mm/s	12 mm/s	max.
Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Nanoschrittbetrieb)	10 mm/s	10 mm/s	10 mm/s	10 mm/s	10 mm/s	10 mm/s	max.
Positionieren	N-331.10	N-331.13	N-331.20	N-331.23	N-331.40	N-331.43	Toleranz
Kleinste Schrittweite in X	0,01 µm	0,01 µm	0,01 µm	0,01 µm	0,01 µm	0,01 µm	typ.
Auflösung in X, ungeregelt	0,02 nm	0,02 nm	0,02 nm	0,02 nm	0,02 nm	0,02 nm	typ.
Integrierter Sensor	—	Inkrementeller Linearencoder	—	Inkrementeller Linearencoder	—	Inkrementeller Linearencoder
Systemauflösung in X	—	10 nm	—	10 nm	—	10 nm
Antriebseigenschaften	N-331.10	N-331.13	N-331.20	N-331.23	N-331.40	N-331.43	Toleranz
Antriebstyp	PICMAWalk	PICMAWalk	PICMAWalk	PICMAWalk	PICMAWalk	PICMAWalk
Betriebsspannung	-20 bis 120 V	-20 bis 120 V	-20 bis 120 V	-20 bis 120 V	-20 bis 120 V	-20 bis 120 V
Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	min.
Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	min.
Mechanische Eigenschaften	N-331.10	N-331.13	N-331.20	N-331.23	N-331.40	N-331.43	Toleranz
Haltekraft in X, passiv	60 N	60 N	60 N	60 N	60 N	60 N	min.
Bewegte Masse in X, unbelastet	110 g	110 g	140 g	140 g	190 g	190 g
Gesamtmasse	580 g	580 g	610 g	610 g	660 g	660 g
Material	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl
Laufleistung bei 1013 hPa, 2 kg Nutzlast, 70% Einschaltdauer	> 30 km	> 30 km	> 30 km	> 30 km	> 30 km	> 30 km
Anschlüsse und Umgebung	N-331.10	N-331.13	N-331.20	N-331.23	N-331.40	N-331.43	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	0 bis 50 °C	0 bis 50 °C	0 bis 50 °C	0 bis 50 °C	0 bis 50 °C	0 bis 50 °C
Anschluss	D-Sub 37 (m)	D-Sub 37 (m)	D-Sub 37 (m)	D-Sub 37 (m)	D-Sub 37 (m)	D-Sub 37 (m)
Kabellänge	2 m	2 m	2 m	2 m	2 m	2 m
Empfohlene Controller / Treiber	E-712.1AN • E-712.2AN • E-712.3AN	E-712.1AN • E-712.2AN • E-712.3AN	E-712.1AN • E-712.2AN • E-712.3AN	E-712.1AN • E-712.2AN • E-712.3AN	E-712.1AN • E-712.2AN • E-712.3AN	E-712.1AN • E-712.2AN • E-712.3AN

Stellweg in X, ungeregelt: Von einem mechanischen Anschlag des Läufers zum anderen mechanischen Anschlag, nur in ungeregeltem Betrieb

Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Vollschrittbetrieb): Abhängig vom Controller, der Last und den Regelparametern; Controller hier: E-712.AN. Für längere Positioniervorgänge sollte der Linearaktor mit diesem Controller bei einer Geschwindigkeit unter 3 mm/s betrieben werden.

Betriebsfrequenz im Vollschrittbetrieb: Bei Betrieb mit Digitalcontroller mit 25 W Spitzenausgangsleistung

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11

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2018-10-16

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