NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT® Piezo-Schreitantrieb; 10 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge
N-310 NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor
Kompakt, schnell, mit großem Stellweg, PiezoWalk® Prinzip
- Stellweg 10 bis 125 mm, variable Läuferlänge
- Kompakte Bauform, preisgünstiges Design
- Auflösung bis 0,03 nm
- Stellkraft bis 10 N
Einsatzgebiete
- Industrielle Präzisionspositionierung
- Halbleitertechnik
- Halbleitertests
- Wafer-Inspektion
- Lithografie
- Nanoimprint
- Nanometrologie
Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben
Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.
Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder
Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | N-310.10 | N-310.11 | N-310.13 | N-310.14 | N-310.15 | N-310.16 | Toleranz |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | X | X | X | X | X | X | |
Stellweg in X | 10 mm | 20 mm | 50 mm | 75 mm | 100 mm | 125 mm | |
Stellweg in X (Analogbetrieb) | 10 µm | 10 µm | 10 µm | 10 µm | 10 µm | 10 µm | max. |
Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | |
Positionieren | N-310.10 | N-310.11 | N-310.13 | N-310.14 | N-310.15 | N-310.16 | Toleranz |
Schrittweite im Vollschrittbetrieb | 10 µm | 10 µm | 10 µm | 10 µm | 10 µm | 10 µm | |
Auflösung in X, ungeregelt | 0,03 nm | 0,03 nm | 0,03 nm | 0,03 nm | 0,03 nm | 0,03 nm | typ. |
Antriebseigenschaften | N-310.10 | N-310.11 | N-310.13 | N-310.14 | N-310.15 | N-310.16 | Toleranz |
Antriebstyp | NEXACT® Piezo-Schreitantrieb | NEXACT® Piezo-Schreitantrieb | NEXACT® Piezo-Schreitantrieb | NEXACT® Piezo-Schreitantrieb | NEXACT® Piezo-Schreitantrieb | NEXACT® Piezo-Schreitantrieb | |
Betriebsspannung | -10 bis +45 V | -10 bis +45 V | -10 bis +45 V | -10 bis +45 V | -10 bis +45 V | -10 bis +45 V | |
Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
Mechanische Eigenschaften | N-310.10 | N-310.11 | N-310.13 | N-310.14 | N-310.15 | N-310.16 | Toleranz |
Haltekraft in X, passiv | 12 N | 12 N | 12 N | 12 N | 12 N | 12 N | max. |
Gesamtmasse | 50 g | 50 g | 50 g | 50 g | 50 g | 50 g | ±5 % |
Material | Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE | Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE | Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE | Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE | Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE | Edelstahl, Keramik; Kabel: PFA, PTFE | |
Anschlüsse und Umgebung | N-310.10 | N-310.11 | N-310.13 | N-310.14 | N-310.15 | N-310.16 | Toleranz |
Betriebstemperaturbereich | 0 bis 50 °C | 0 bis 50 °C | 0 bis 50 °C | 0 bis 50 °C | 0 bis 50 °C | 0 bis 50 °C | |
Anschluss | HD D-Sub 15-polig (m) | HD D-Sub 15-polig (m) | HD D-Sub 15-polig (m) | HD D-Sub 15-polig (m) | HD D-Sub 15-polig (m) | HD D-Sub 15-polig (m) | |
Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | ±10 mm |
Empfohlene Controller / Treiber | E-712, E-861, E-861.11C885, E-862 | E-712, E-861, E-861.11C885, E-862 | E-712, E-861, E-861.11C885, E-862 | E-712, E-861, E-861.11C885, E-862 | E-712, E-861, E-861.11C885, E-862 | E-712, E-861, E-861.11C885, E-862 |
Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet: Abhängig von der Steuerelektronik.
Auflösung in X, ungeregelt: Abhängig von der Steuerelektronik.
Empfohlene Controller / Treiber:
E-712 - Modular, hohe Leistung für höchste Präzision und Geschwindigkeit
E-861 - Kostengünstiger Nexact® Controller für 1 Kanal
E-861.11C885 - Nexact® Controllermodul für modulares Controllersystem C-885
E-862 - Kostengünstiger Open-Loop-Treiber
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Produktmitteilung
Product Change Notification N-310.XX-N-47X.XX
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch N310T0012
N-310 NEXACT® OEM Miniatur-Linearantrieb
3-D-Modelle
N-310 3D-Modell
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NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT® Piezo-Schreitantrieb; 20 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge
NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT® Piezo-Schreitantrieb; 50 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge
NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT® Piezo-Schreitantrieb; 75 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge
NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT® Piezo-Schreitantrieb; 100 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge
NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor; NEXACT® Piezo-Schreitantrieb; 125 mm Stellweg; 10 N Antriebskraft; 10 mm/s maximale Geschwindigkeit; 1,5 m Kabellänge
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Technologie
PiezoWalk® Piezoschreitantriebe
PiezoWalk®Antriebe wurden für die Halbleiterindustrie entwickelt, die hohe Anforderungen an die Zuverlässigkeit, Positionsauflösung und Stabilität hat.
Vakuum
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Inkrementelle Sensoren
Bei längeren Stellwegen ab ca. 1 Millimeter stoßen die kapazitiven Messsysteme an ihre Grenzen: PI verwendet daher inkrementelle Messsysteme.
Hexapoden und SpaceFAB
Hexapoden sind Systeme für die Bewegung und Positionierung, Justierung und Verschiebung von Lasten in sechs Achsen im Raum, linear und rotatorisch.