A-110 PIglide LC Lineartisch mit Luftlager
Hochleistungs-Nanopositioniertisch mit günstigem Preis
- Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
- Reinraumtauglich
- Größe der Bewegungsplattform 160 mm × 200 mm
- Stellwege bis 400 mm
- Belastbarkeit bis 100 N
Produktübersicht
PIglide Positioniersysteme besitzen einen magnetischen Linearmotor, magnetisch vorgespannte Luftlager und optische Linearencoder: Kontakt- und Reibungsfreie Bewegung für höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit.
Zubehör und Optionen
- Encoder
- PIglide Filter und Druckregler
- Ein- und mehrachsige Motion Controller
- XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen
- Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung
Einsatzgebiete
PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Aktive Achsen | X | X | X | X | X | X | X | X | X | X | |
Stellweg in X | 50 mm | 50 mm | 100 mm | 100 mm | 200 mm | 200 mm | 300 mm | 300 mm | 400 mm | 400 mm | |
Beschleunigung in X, unbelastet | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | max. |
Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | |
Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in X) | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | max. |
Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X) | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | max. |
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 7,5 µrad | ± 7,5 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 17,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | max. |
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 7,5 µrad | ± 7,5 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 17,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | max. |
Positionieren | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | typ. |
Positioniergenauigkeit in X, kalibriert | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | typ. |
Positioniergenauigkeit in X, unkalibriert | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 2 µm | ± 1,5 µm | ± 3 µm | ± 1,5 µm | ± 4 µm | ± 1,5 µm | typ. |
Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | |
Sensorsignal | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | |
Sensorauflösung | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | |
Sensorsignalperiode | 20 µm | 20 µm | 20 µm | 20 µm | 20 µm | ||||||
Referenzschalter | Encoder-Index | Encoder-Index | Encoder-Index | Encoder-Index | Encoder-Index | ||||||
Endschalter | Hall-Effekt | Hall-Effekt | Hall-Effekt | Hall-Effekt | Hall-Effekt | ||||||
Antriebseigenschaften | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | |
Nennspannung | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | |
Spitzenspannung | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | |
Nennstrom, effektiv | 1,6 A | 1,6 A | 1,6 A | 1,6 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | typ. |
Spitzenstrom, effektiv | 4,2 A | 4,2 A | 4,2 A | 4,2 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | typ. |
Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | typ. |
Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | typ. |
Spitzenkraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | |
Spitzenkraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | |
Kraftkonstante | 4,1 N/A | 4,1 N/A | 4,1 N/A | 4,1 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | |
Widerstand Phase-Phase | 11 Ω | 11 Ω | 11 Ω | 11 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | typ. |
Induktivität Phase-Phase | 6 mH | 6 mH | 6 mH | 6 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | |
Gegen-EMK Phase-Phase | 10 V·s/m | 10 V·s/m | 10 V·s/m | 10 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | max. |
Polteilung N-N | 33,6 mm | 33,6 mm | 33,6 mm | 33,6 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | |
Mechanische Eigenschaften | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
Führung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | |
Bewegte Masse in X, unbelastet | 2500 g | 2500 g | 2500 g | 2500 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | |
Zulässige Druckkraft in Z | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
Gesamtmasse | 6300 g | 6300 g | 7500 g | 7500 g | 11000 g | 11000 g | 12000 g | 12000 g | 14000 g | 14000 g | |
Material | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | |
Anschlüsse und Umgebung | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
Anschluss | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | |
Sensoranschluss | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | |
Betriebsdruck | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | |
Luftdurchsatz | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | max. |
Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | |
Empfohlene Controller / Treiber | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | |
Betriebstemperaturbereich | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C |
Downloads
Produktmitteilung
Product Change Notification A-xxx.*C1
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch A110D0001
A-110 PIglide LC Linearversteller mit Luftlager
3-D-Modelle
A-110 3D-Modell
Whitepaper
Luftlager: Wann sie in Ihrer Bewegungsapplikation verwendet und wann sie vermieden werden sollten
Nicht alle Positioniertische sind gleich aufgebaut. Autor: Matt Reck, PI
Angebot / Bestellung
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Technologie
![Piglide HS Planarscanner mit Luftlager PIglide Luftlager-Technologie](/fileadmin/_processed_/9/b/csm_ANI43_AirBearing_highlight_planar_Poster_75620a0b38.jpg)
PIglide Luftlager-Technologie
Der Magnetantrieb kann eine luftgelagerte bewegte Plattform innerhalb weniger Nanometer linear oder weniger Bogensekunden rotatorisch positionieren.
![Magnetische Direktantriebe](/fileadmin/_processed_/0/0/csm_V-113_817e0da48d.jpg)
Magnetische Direktantriebe
Magnetische Direktantriebe bieten vor allem hinsichtlich Verschleiß und Dynamik Vorteile gegenüber klassischen spindelbasierten Lösungen.