P-733.3 XYZ-Piezo-Nanopositionierer

Hochpräziser XYZ-Scanner mit Apertur

Stellwege bis 100 µm × 100 µm in X, Y und bis 10 µm in Z
Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
Hochgeschwindigkeitsversionen mit Direktantrieb
Ultrahochvakuumtaugliche und unmagnetische Versionen auf Anfrage
Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Freie Apertur 50 mm × 50 mm für Durchlicht-Anwendungen

Angebot / Bestellung

P-733.3CD / .3CL, Abmessungen in mm

P-733.3DD, Abmessungen in mm

Einsatzgebiete

Scanning-Mikroskopie
Konfokale Mikroskopie
Masken- / Waferpositionierung
Oberflächenmesstechnik
Nanoimprint
Mikromanipulation
Bildverarbeitung / -stabilisierung
Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung

Überragende Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren

Die PICMA^® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA^® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11

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Version / Datum

2023-12-11

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Wählen Sie einen Stellweg:

Bewegen	P-733.3CD	P-733.3CL	P-733.3DD	Toleranz
Aktive Achsen	X Y Z	X Y Z	X Y Z
Stellweg in X	100 µm	100 µm	30 µm
Stellweg in Y	100 µm	100 µm	30 µm
Stellweg in Z	10 µm	10 µm	10 µm
Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V	115 µm	115 µm	33 µm	+20 / -0 %
Stellweg in Y, ungeregelt, bei -20 bis 120 V	115 µm	115 µm	33 µm	+20 / -0 %
Stellweg in Z, ungeregelt, bei -20 bis 120 V	12 µm	12 µm	14 µm	+20 / -0 %
Linearitätsabweichung in X	0,03 %	0,03 %	0,03 %	typ.
Linearitätsabweichung in Y	0,03 %	0,03 %	0,03 %	typ.
Linearitätsabweichung in Z	0,03 %	0,03 %	0,03 %	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z)	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X)	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y)	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
Positionieren	P-733.3CD	P-733.3CL	P-733.3DD	Toleranz
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	typ.
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	typ.
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z	± 1 nm	± 1 nm	± 1 nm	typ.
Auflösung in X, ungeregelt	0,2 nm	0,2 nm	0,1 nm	typ.
Auflösung in Y, ungeregelt	0,2 nm	0,2 nm	0,1 nm	typ.
Auflösung in Z, ungeregelt	0,1 nm	0,1 nm	0,1 nm	typ.
Integrierter Sensor	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung
Systemauflösung in X	0,3 nm	0,3 nm	0,1 nm	typ.
Systemauflösung in Y	0,3 nm	0,3 nm	0,1 nm	typ.
Systemauflösung in Z	0,2 nm	0,2 nm	0,1 nm	typ.
Antriebseigenschaften	P-733.3CD	P-733.3CL	P-733.3DD	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Elektrische Kapazität in X	6 µF	6 µF	6,2 µF	±20 %
Elektrische Kapazität in Y	6 µF	6 µF	6,2 µF	±20 %
Elektrische Kapazität in Z	2,4 µF	2,4 µF	3,3 µF	±20 %
Mechanische Eigenschaften	P-733.3CD	P-733.3CL	P-733.3DD	Toleranz
Steifigkeit in X	1,4 N/µm	1,4 N/µm	4 N/µm	±20 %
Steifigkeit in Y	1,4 N/µm	1,4 N/µm	4 N/µm	±20 %
Steifigkeit in Z	9 N/µm	9 N/µm	10 N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in X, unbelastet	460 Hz	460 Hz	1200 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 120 g	340 Hz	340 Hz		±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 200 g	295 Hz	295 Hz	530 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, unbelastet	460 Hz	460 Hz	1200 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 120 g	340 Hz	340 Hz		±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 200 g	295 Hz	295 Hz	530 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Z, unbelastet	1400 Hz	1400 Hz	1100 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 120 g	1060 Hz	1060 Hz		±20 %
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 200 g	650 Hz	650 Hz	635 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in X	50 N	50 N	50 N	max.
Zulässige Druckkraft in Y	50 N	50 N	50 N	max.
Zulässige Druckkraft in Z	50 N	50 N	50 N	max.
Zulässige Zugkraft in X	20 N	20 N	20 N	max.
Zulässige Zugkraft in Y	20 N	20 N	20 N	max.
Zulässige Zugkraft in Z	20 N	20 N	20 N	max.
Gesamtmasse	675 g	675 g	675 g	±5 %
Material	Aluminium	Aluminium	Aluminium
Anschlüsse und Umgebung	P-733.3CD	P-733.3CL	P-733.3DD	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Anschluss	D-Sub 25W3 (m)	LEMO FFA.00.250.CTAC22	D-Sub 25W3 (m)
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	1,5 m	±10 mm
Empfohlene Controller / Treiber	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727
Sensoranschluss		LEMO FFA.00.250.CTLC31

P-733.3DD: Linearitätsabweichung mit Digitalcontroller. Mit Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Positionierer typ. bis 0,1 % betragen.

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

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Produktmitteilung

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2021-04-19

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2023-12-11

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