P-612.Z Piezohubtisch

Kompakter Nanopositionierer mit Apertur

Stellweg 100 µm
Auflösung bis 0,2 nm
Linearitätsabweichung 0,2 %
Kompakt: Grundfläche 60 mm × 60 mm
Besonders kostengünstige Systeme (Mechanik und Controller)
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Angebot / Bestellung

Die Einschwingzeit beträgt weniger als 10 Millisekunden über den vollen Hub bei aktiver Regelung.

P-612.ZSL, Abmessungen in mm

Einsatzgebiete

Interferometrie
Mikroskopie
Nanopositionierung
Biotechnologie
Prüfverfahren und Qualitätssicherung
Halbleitertechnik

Überragende Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren

Die PICMA^® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA^® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

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Datenblatt

Version / Datum

2024-01-09

pdf - 528 KB

Version / Datum

2024-01-09

pdf - 533 KB

Version / Datum

2018-06-14

pdf - 778 KB

Version / Datum

2018-07-12

pdf - 858 KB

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Bewegen	P-612.ZSL	Toleranz
Aktive Achsen	Z
Stellweg in Z	100 µm
Stellweg in Z, ungeregelt, bei -20 bis 120 V	110 µm	+20 / -0 %
Linearitätsabweichung in Z	0,2 %	typ.
Ebenheit (Lineares Übersprechen in X bei Bewegung in Z)	± 20 nm	typ.
Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in Z)	± 20 nm	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z)	± 10 µrad	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z)	± 10 µrad	typ.
Positionieren	P-612.ZSL	Toleranz
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z	± 4 nm	typ.
Auflösung in Z, ungeregelt	0,2 nm	typ.
Integrierter Sensor	DMS, indirekte Positionsmessung
Systemauflösung in Z	1,5 nm
Antriebseigenschaften	P-612.ZSL	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®
Elektrische Kapazität in Z	3 µF	±20 %
Mechanische Eigenschaften	P-612.ZSL	Toleranz
Steifigkeit in Z	0,63 N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in Z, unbelastet	490 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 30 g	420 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in Z	15 N	max.
Zulässige Zugkraft in Z	10 N	max.
Führung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
Gesamtmasse	280 g	±5 %
Material	Aluminium
Anschlüsse und Umgebung	P-612.ZSL	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80 °C
Anschluss	LEMO FFS.00.250.CTCE24
Sensoranschluss	LEMO FFA.0S.304.CLAC32
Kabellänge	1,5 m	±10 mm
Empfohlene Controller / Treiber	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

pdf - 377 KB

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2024-01-09

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