P-621.1U • P-625.1U PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Vakuumkompatibel und variabel in Stellweg und Achskonfiguration

Stellwege 100 bis 500 µm (600 µm ungeregelt)
Auflösung bis 0,2 nm
Linearitätsabweichung ≤0,03 %
XY-Kombination möglich
UHV-kompatibel bis 10^-9 hPa

Schnelle Scanbewegung eines P-621.1CD (Anstiegszeitvorgabe: 5 ms) mit einem Digitalcontroller mit 16-Bit-Sensorauflösung und DDL-Option. Die digitale dynamische Linearisierung reduziert den Trackingfehler während des Scans auf <20 nm. Die Verbesserung gegenüber einem Standard-PID-Regler beträgt bis zu 3 Größenordnungen und nimmt mit der Frequenz zu.

P-62x.1U, Abmessungen in mm

Einsatzgebiete

Interferometrie
Mikroskopie
Nanopositionierung
Biotechnologie
Testanwendungen
Halbleitertechnik
Photonik
Faserpositionierung

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

Überragende Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren

Die PICMA^® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA^® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11

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Wählen Sie einen Stellweg:

Bewegen	P-621.1U	P-622.1U	P-625.1U	Toleranz
Aktive Achsen	X	X	X
Stellweg in X	100 µm	250 µm	500 µm
Stellweg in X, ungeregelt	120 µm	300 µm	600 µm	±20 %
Linearitätsabweichung in X	0,02 %	0,02 %	0,03 %	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 6 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 6 µrad	typ.
Positionieren	P-621.1U	P-622.1U	P-625.1U	Toleranz
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X	1 nm	1 nm	5 nm	typ.
Auflösung in X, ungeregelt	0,2 nm	0,4 nm	0,5 nm	typ.
Integrierter Sensor	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung
Systemauflösung in X	0,4 nm	0,7 nm	1,4 nm
Antriebseigenschaften	P-621.1U	P-622.1U	P-625.1U	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Maximale Leistungsaufnahme	9 W	9 W	10 W
Elektrische Kapazität in X	1,5 µF	3,1 µF	6,2 µF	±20 %
Maximale Betriebsfrequenz kurzzeitig	267 Hz	133 Hz	72 Hz
Mechanische Eigenschaften	P-621.1U	P-622.1U	P-625.1U	Toleranz
Steifigkeit in X	0,35 N/µm	0,2 N/µm	0,1 N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in X, unbelastet	800 Hz	400 Hz	215 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 20 g	520 Hz	340 Hz	180 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 120 g	240 Hz	185 Hz	110 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in X	10 N	10 N	10 N	max.
Zulässige Druckkraft in Y	10 N	10 N	10 N	max.
Zulässige Druckkraft in Z	10 N	10 N	10 N	max.
Zulässige Zugkraft in X	10 N	10 N	10 N	max.
Führung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
Gesamtmasse	160 g	200 g	240 g
Material	Aluminium	Aluminium	Aluminium
Anschlüsse und Umgebung	P-621.1U	P-622.1U	P-625.1U	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Vakuumklasse	10⁻⁹ hPa	10⁻⁹ hPa	10⁻⁹ hPa
Anschluss	D-Sub 5W1 (w)	D-Sub 5W1 (w)	D-Sub 5W1 (w)
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	1,5 m
Empfohlene Controller / Treiber	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-709, E-754

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11

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Dokumentation

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren