P-734.2CD
XY-Piezoscanner; 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y); kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 25W3 (m); 1,5 m Kabellänge
P-734 XY-Piezoscanner
Hochdynamisch, höchste Ablaufgenauigkeit, mit Apertur
- Ablaufebenheit 5 nm, ideal für Oberflächenanalyse und Scanning-Mikroskopie
- Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
- Stellweg 100 µm × 100 µm
- Freie Apertur 56 mm × 56 mm
- Auflösung 0,3 nm durch kapazitive Positionssensoren
Die typische Ablaufebenheit des P-734 liegt bei wenigen Nanometern.
P-734, Abmessungen in mm
P-734 XY-Piezoscanner
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Einsatzgebiete
- Scanning-Mikroskopie
- Konfokale Mikroskopie
- Masken- / Waferpositionierung
- Oberflächenmesstechnik
- Nanoimprint
- Mikromanipulation
- Bildverarbeitung / -stabilisierung
- Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung
Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.
Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik
In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.
Spezifikationen
Spezifikationen
| Bewegen | P-734.2CD | P-734.2CL | Toleranz |
|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X Y | X Y | |
| Stellweg in X | 100 µm | 100 µm | |
| Stellweg in Y | 100 µm | 100 µm | |
| Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 110 µm | 110 µm | +20 / -0 % |
| Stellweg in Y, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 110 µm | 110 µm | +20 / -0 % |
| Linearitätsabweichung in X | 0,03 % | 0,03 % | typ. |
| Linearitätsabweichung in Y | 0,03 % | 0,03 % | typ. |
| Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X) | ± 5 nm | ± 5 nm | typ. |
| Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in Y) | ± 5 nm | ± 5 nm | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y) | ± 3 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 3 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Positionieren | P-734.2CD | P-734.2CL | Toleranz |
| Auflösung in X, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
| Auflösung in Y, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | |
| Systemauflösung in X | 0,3 nm | 0,3 nm | |
| Systemauflösung in Y | 0,3 nm | 0,3 nm | |
| Antriebseigenschaften | P-734.2CD | P-734.2CL | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität in X | 6,2 µF | 6,2 µF | ±20 % |
| Elektrische Kapazität in Y | 6,2 µF | 6,2 µF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-734.2CD | P-734.2CL | Toleranz |
| Steifigkeit in X | 3 N/µm | 3 N/µm | ±20 % |
| Steifigkeit in Y | 3 N/µm | 3 N/µm | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, unbelastet | 500 Hz | 500 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 200 g | 350 Hz | 350 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 500 g | 250 Hz | 250 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, unbelastet | 500 Hz | 500 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 200 g | 350 Hz | 350 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 500 g | 250 Hz | 250 Hz | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in X | 300 N | 300 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Y | 300 N | 300 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 20 N | 20 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in X | 100 N | 100 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Y | 100 N | 100 N | max. |
| Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
| Gesamtmasse | 1040 g | 1040 g | ±5 % |
| Material | Aluminium | Aluminium | |
| Anschlüsse und Umgebung | P-734.2CD | P-734.2CL | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
| Anschluss | D-Sub 25W3 (m) | LEMO LVPZT | |
| Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-712, E-727 | E-500, E-503, E-505, E-509 | |
| Sensoranschluss | LEMO für kapazitive Sensoren |
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Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ103
P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
1.2.0 2024-05-16
pdf - 2 MB
Version / Datum
1.2.0 2024-05-16
pdf - 2 MB
3-D-Modelle
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P-734 3D Modell
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P-734.2CL
XY-Piezoscanner; 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y); kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge
