Miniatur-Hexapod-Mikroroboter; bürstenloser DC-Motor; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa; 5 kg Belastbarkeit; 10 mm/s Geschwindigkeit; 2 m Kabellänge (vakuumseitig); Durchführungen. Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
H-811.I2V Vakuumgeeigneter 6-Achsen-Miniatur-Hexapod
Schnell, kompakt und höchst präzise
- Vakuum bis 10-6 hPa
- Stellweg ±17 mm / ±16 mm / ±6,5 mm
- ±10° / ±10° / ±21°
- MIM 0,2 µm / 0,2 µm / 0,08 µm
- Wiederholgenauigkeit bis ±0,06 µm
- Belastbarkeit 5 kg
6-Achsen-System der Referenzklasse
Parallelkinematischer Aufbau für sechs Freiheitsgrade, dadurch wesentlich kompakter und steifer als Seriellkinematik-Systeme, höhere Dynamik, keine bewegten Kabel: Höhere Zuverlässigkeit, reduzierte Reibung. Geeignet für Vakuumumgebung bis 10-6 hPa.
Bürstenloser DC-Motor (BLDC)
Bürstenlose DC-Motoren eignen sich besonders gut für hohe Drehzahlen. Sie lassen sich sehr genau regeln und sorgen für hohe Präzision. Durch den Verzicht auf Schleifkontakte sind sie laufruhig und verschleißarm und erreichen somit eine hohe Lebensdauer.
PIVirtualMove
Die Simulationssoftware simuliert die Grenzen des Arbeitsraums und der Belastbarkeit eines Hexapoden. Damit kann bereits vor einer Kaufentscheidung überprüft werden, ob ein bestimmtes Hexapod-Modell die auftretenden Lasten, Kräfte und Momente in einer Anwendung aufnehmen kann. Das Simulationstool berücksichtigt dazu die Lage und die Bewegung des Hexapoden, sowie die Position des Pivotpunkts und verschiedene Bezugskoordinatensysteme.
Einsatzgebiete
Industrie und Forschung, Mikrofertigung, Medizintechnik, Werkzeugkontrolle.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | H-811.I2V | Toleranz |
---|---|---|
Aktive Achsen | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | |
Stellweg in X | ± 17 mm | |
Stellweg in Y | ± 16 mm | |
Stellweg in Z | ± 6,5 mm | |
Rotationsbereich in θX | ± 10 ° | |
Rotationsbereich in θY | ± 10 ° | |
Rotationsbereich in θZ | ± 21 ° | |
Maximale Geschwindigkeit in X | 10 mm/s | |
Maximale Geschwindigkeit in Y | 10 mm/s | |
Maximale Geschwindigkeit in Z | 10 mm/s | |
Maximale Winkelgeschwindigkeit in θX | 250 mrad/s | |
Maximale Winkelgeschwindigkeit in θY | 250 mrad/s | |
Maximale Winkelgeschwindigkeit in θZ | 250 mrad/s | |
Typische Geschwindigkeit in X | 5 mm/s | |
Typische Geschwindigkeit in Y | 5 mm/s | |
Typische Geschwindigkeit in Z | 5 mm/s | |
Typische Winkelgeschwindigkeit in θX | 120 mrad/s | |
Typische Winkelgeschwindigkeit in θY | 120 mrad/s | |
Typische Winkelgeschwindigkeit in θZ | 120 mrad/s | |
Positionieren | H-811.I2V | Toleranz |
Kleinste Schrittweite in X | 0,2 µm | typ. |
Kleinste Schrittweite in Y | 0,2 µm | typ. |
Kleinste Schrittweite in Z | 0,08 µm | typ. |
Kleinste Schrittweite in θX | 2,5 µrad | typ. |
Kleinste Schrittweite in θY | 2,5 µrad | typ. |
Kleinste Schrittweite in θZ | 5 µrad | typ. |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 0,15 µm | typ. |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | ± 0,15 µm | typ. |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 0,06 µm | typ. |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θX | ± 2 µrad | typ. |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θY | ± 2 µrad | typ. |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θZ | ± 3 µrad | typ. |
Umkehrspiel in X | 0,2 µm | typ. |
Umkehrspiel in Y | 0,2 µm | typ. |
Umkehrspiel in Z | 0,06 µm | typ. |
Umkehrspiel in θX | 2 µrad | typ. |
Umkehrspiel in θY | 2 µrad | typ. |
Umkehrspiel in θZ | 4 µrad | typ. |
Antriebseigenschaften | H-811.I2V | Toleranz |
Antriebstyp | Bürstenloser DC-Motor | |
Mechanische Eigenschaften | H-811.I2V | Toleranz |
Steifigkeit in X | 0,7 N/µm | |
Steifigkeit in Y | 0,7 N/µm | |
Steifigkeit in Z | 8 N/µm | |
Maximale Nutzlast, beliebige Ausrichtung | 2,5 kg | |
Maximale Nutzlast, horizontale Ausrichtung | 5 kg | |
Maximale Haltekraft, passiv, beliebige Ausrichtung | 2,5 N | |
Maximale Haltekraft, passiv, horizontale Ausrichtung | 15 N | |
Gesamtmasse | 2,2 kg | |
Material | Edelstahl, Aluminium | |
Anschlüsse und Umgebung | H-811.I2V | Toleranz |
Betriebstemperaturbereich | 0 bis 50 °C | |
Vakuumklasse | 10⁻⁶ ǀ hPa | |
Maximale Ausheiztemperatur | 80 °C | |
Anschluss Datenübertragung | HD D-Sub 78 (m) | |
Anschluss Versorgungsspannung | LEMO | |
Kabellänge | 2 m | |
Kabel-Außendurchmesser Versorgungsspannung | 4,7 mm | |
Minimaler Kabel-Biegeradius bei Festinstallation, Versorgungsspannung | 50 mm | |
Kabel-Außendurchmesser Datenübertragung | 6,6 mm | |
Minimaler Kabel-Biegeradius bei Festinstallation, Datenübertragung | 70 mm | |
Empfohlene Controller / Treiber | C-887.5x |
Die Fixkabel des H-811.I2V sind nicht schleppkettentauglich.
Hinweis zu Kabel-Außendurchmesser Datenübertragung: Der Anschluss zur Datenübertragung besteht aus 2 Kabeln, die in einen Stecker münden. Der angegebene Durchmesser gilt pro Kabel.
Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
Bei Dauerbetrieb im Vakuum können sich aufgrund von Wärmeentwicklung gegebenenfalls Einschränkungen der Betriebsparameter ergeben.
Bei der Vermessung der Positionsspezifikationen wird die typische Geschwindigkeit verwendet. Die Daten werden als Messprotokoll mit dem Produkt ausgeliefert und bei PI vorgehalten.
Die maximalen Stellwege der einzelnen Koordinaten (X, Y, Z, θX, θY, θZ) sind voneinander abhängig. Die Daten für jede Achse zeigen jeweils ihren maximalen Stellweg, wenn alle anderen Achsen auf der Nullposition des Nominalstellweges stehen und das werkseitige Koordinatensystem verwendet wird, beziehungsweise wenn der Pivotpunkt auf 0,0,0 gesetzt ist.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
Downloads
Produktmitteilung
Product Change Notification H-811.I2V
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch MS235
H-811 Miniatur-Hexapoden
3-D-Modelle
H-811.I2V 3-D-Modell
Softwaredateien
PIVirtualMove
Angebot / Bestellung
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Technologie
PI Geräte über EtherCAT vernetzen
EtherCAT Netzwerke integrieren PI-Controller als Slave. ACS Motion Controller können als EtherCAT Master oder untergeordnet in einer bestehenden Busarchitektur eingebunden werden.
Parallelkinematik
In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Dadurch können die dynamischen Eigenschaften der Achsen identisch ausgelegt und die bewegte Masse stark reduziert werden.
Vakuum
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Hexapoden als Bewegungssimulator
Bewegungssimulatoren haben höhere Anforderungen an die Dynamik der Bewegung (Shaker).
Hexapoden und SpaceFAB
Hexapoden sind Systeme für die Bewegung und Positionierung von Lasten in sechs Freiheitsgraden – in drei translatorischen Achsen und drei rotatorischen Achsen.
Piezopositioniersysteme mit paralleler Kinematik
Der Vorteil eines Parallelkinematik-Mehrachsensystem ist, dass es kompakter gebaut werden kann, da nur es nur eine bewegte Plattform gibt.
Anwendungen
High Vacuum Positioning
Investigation of the structural properties of thin films under high-vacuum conditions.
Sample Positioning in High-Vacuum
Sample Manipulators in High-Vacuum
Sample Adjustment
At Diamond Light Source, UK, beamline I07 is a high-resolution X-ray diffraction beamline dedicated to investigate the structure of surfaces and interfaces.
Optics Hutch Instrumentation
At DESY in Hamburg, the P05 Imaging Beamline is operated by the HZG.